El EUV de alta na eleva los requisitos de precisión para los equipos semiconductores

El EUV de alta na eleva los requisitos de precisión para los equipos semiconductores

La industria de semiconductores se está moviendo en otra etapa difícil de la miniaturización.

El reto ya no es simplemente producir transistmás pequeños. Los fabricantes de semiconductores también están buscando equipos capaces de mantener un control del proceso extremadamente estricto a medida que las arquitecturas de chips se vuelven más complejas.

La litografía de alto na EUV es una de las tecnologías en el centro de esta transición.

Desarrollos recientes muestran que la tecnología se está moviendo más allá de la discusión de laboratorio hacia una adopción industrial más amplia. Reuters informó el 14 de septiembre que ASML' Los sistemas High-NA EUV de próxima generación están viendo un fuerte interés de los principales fabricantes de chips,con TSMC,Samsung y SK Hynix entre las empresas que se preparan para su futura adopción.

Para la industria de control de movimiento, el desarrollo tiene una importante implicación:

La precisión de los equipos semiconductores depende cada vez más del rendimiento de cada movimiento dentro de la máquina.

Los equipos semiconductores dependen del movimiento controlado

Un sistema de litografía es una pieza extremadamente compleja de equipo, pero el mismo principio se aplica A toda la fabricación de semiconductores.

Los sistemas de manejo de obleas necesitan movimiento controlado.

El equipo de inspección necesita un posicionamiento repetible.

Los mecanismos de alineación necesitan un movimiento rotatorio o lineal estable.

Los sistemas de manejo de materiales necesitan una aceleración y desaceleración predecibles.

El equipo de proceso necesita que los componentes se muevan con precisión sin introducir vibraciones innecesarias.

Estos requisitos imponen condiciones exigentes a motores, rodamientos, guías lineales, cajas de cambios y otros componentes de transmisión.

Un EUV alto en na impulsa el rendimiento del equipo aún más

ASML' La tecnología s High-NA EUV está diseñada para soportar el continuo escalamiento de la fabricación avanzada de semiconductores.

Reuters informó que la generación actual de herramientas EUV puede procesar chips de hasta aproximadamente 800 milímetros cuadrados, mientras que ASML está trabajando hacia máscaras más grandes para sus sistemas de alta na para que la tecnología pueda eventualmente soportar chips de centro de datos más grandes. La compañía espera que este desarrollo mejore la productividad.

El progreso técnico pone de relieve una tendencia más amplia en el campo de los equipos semiconductores.

A medida que la ventana del proceso se estrecha, los fabricantes de equipos tienen menos espacio para errores mecánicos.

Un sistema de posicionamiento que funcione adecuadamente para una aplicación convencional puede no ser adecuado para un proceso que requiera una estabilidad y repetibilidad significativamente mayores.

Donde el Control del movimiento se vuelve crítico

El movimiento dentro de los equipos semiconductores a menudo no es dramático.

Un estadio puede moverse sólo una corta distancia.

Un mecanismo rotatorio puede girar A través de un pequeño ángulo.

Un mecanismo de manejo de obleas puede realizar repetidamente el mismo movimiento.

Pero la repetición cambia el requisito de ingeniería.

El sistema puede necesitar realizar el mismo movimiento miles o millones de veces mientras mantiene un comportamiento predecible.

Por lo tanto, el juego, la vibración, la rigidez, la precisión de posicionamiento y el comportamiento térmico pueden ser factores importantes a la hora de seleccionar los componentes de la transmisión.

Esta es una de las razones por las que los reductores planetde precisión, los reductores de armónicos, los mecanismos rotatorios y los sistemas de movimiento lineal siguen teniendo aplicaciones en equipos relacionados con semiconductores.

La caja de cambios es sólo una parte del sistema

Una caja de cambios de precisión no puede compensar un motor inadecuado, una estructura mecánica deficiente o un sistema de control inadecuado.

La transmisión tiene que trabajar junto con el resto del sistema de movimiento.

Por ejemplo, un servomotor puede proporcionar la velocidad requerida y la respuesta dinámica, mientras que una caja de cambios planetaria proporciona la multiplicación de par y la reducción de velocidad controlada.

Cuando se requieren dimensiones compactas y una transmisión giratoria precisa, se puede seleccionar una caja de cambios armónica.

Una caja de cambios en ángulo recto puede resolver un problema de diseño mecánico cuando el motor no se puede instalar en línea con el eje impulsado.

Un motor lineal o un mecanismo accionado por tornillo se puede utilizar cuando la máquina requiere un movimiento lineal controlado.

La elección correcta depende del eje en lugar de simplemente el nombre de la industria.

La vibración y el contragolpe son importantes en equipos de precisión

En la maquinaria industrial en general, una pequeña cantidad de juego mecánico puede tener poco efecto en la producción.

El equipo semiconductor de precisión es diferente.

El movimiento no deseado puede afectar la alineación, el posicionamiento y la repetibilidad. La vibración mecánica también puede influir en el rendimiento de los procesos sensibles.

Esto hace que las características de transmisión como el juego y la rigidez torsional sean importantes durante el diseño del equipo.

Para los fabricantes de máquinas OEM, el proceso de selección de la caja de cambios debe comenzar con el requisito de movimiento completo en lugar de una simple comparación del par nominal.

Los equipos semiconductores están cada vez más integrados

Otro cambio es la creciente integración de sistemas mecánicos y electrónicos.

Los controladores de movimiento, servomotores, motores, sensores y componentes mecánicos de transmisión funcionan cada vez más como un sistema coordinado.

Transmisión de Fenghua' Su cartera de productos cubre la precisiónCambios Planet, Reductores de armónicos, Reductores de RVCajas de engranrecrectas, plataformas rotativas, motores y productos de movimiento lineal para la automatización industrial y equipos de precisión.

Para los fabricantes de equipos, este tipo de gama de productos permite considerar diferentes tecnologías de transmisión en función de las exigencias de cada eje de máquina.

¡Qué significa esto para los proveedores de componentes de movimiento

El desarrollo de un EUV alto es un ejemplo de una tendencia más amplia en la fabricación avanzada.

Cuanto más exigente se vuelve el proceso de producción, más atención deben prestar los fabricantes de equipos a los detalles mecánicos que antes se daban por descont.

Los engranajes no determinan por sí solos el rendimiento de una máquina de semiconductores.

Pero la estabilidad, repetibilidad y comportamiento mecánico de cada etapa de transmisión puede contribuir al rendimiento del equipo completo.

Fenghua Transmission Por lo tanto, para los proveedores de componentes de movimiento de precisión, la oportunidad está estrechamente relacionada con la ingeniería de equipos.

Entender los requisitos de aplicación, motor, carga, velocidad, espacio de instalación y posicionamiento es a menudo más útil que simplemente suministrar una caja de cambios estándar.

A medida que los equipos semiconductores sigan evolucionando, el enfoque a nivel de aplicación seguirá siendo importante para la próxima generación de fabricación de precisión.